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| 测量范围 | 20±1mm | 30±3.5mm | 40±6mm | 
| 光点直径 | φ40μm | φ60μm | φ80μm | 
| 静态分辨率 | 0.02μm | 0.05μm | 0.08μm | 
| 型号 | ZW-S20 | ZW-S30 | ZW-S40 | 
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